半导体类橡胶密封系列

成功应用于： 半导体、光伏、面板等行业

  1 高真空应用大尺寸O型圈

2 Plasma等离体子体气体镀膜：

    极佳的plasma耐受性；

    极低的颗粒污染；

    极低的金属杂质；

    低排气，高真空度；

  3  高温热制程：

    耐高温315℃及耐化学腐蚀

  4 湿法化学制程：

    可耐受所有的酸、碱、胺、化学溶剂、氧化物的化学腐蚀